如何避免EMO開關破損而引起龐大損失 | 台灣

因EMO開關破損而引起龐大損失的風險

在半導體製造上最重要的課題就是，如何保持裝置持續運轉，使工廠處於高產能的狀態。但是，因存在使用危險溶劑或藥劑等的工程，若是停止裝置動力的緊急停止用按鈕開關遮斷了電源供給，則可能發生瓦斯外洩等的次要危險狀態。 為此，半導體業界的安全標準SEMI規定必須設置EMO開關，EMO開關僅遮斷會產生危險狀態的負載部分，不遮斷其他維持安全相關裝置的運行。 但是，傳統的EMO開關在構造上存在著若遭受過度的衝擊開關可能會損壞的風險，如此一來即使按下開關也無法遮斷回路，而無法阻止危險狀態。 部分製造半導體設備的設備商，有著希望將這種風險降至最低，提高設備安全性的需求。

只把處於危險狀態的回路確實遮斷，擁有高信賴度的安全機構、IDEC的EMO按鈕開關

在緊急情況發生時，如何僅緊急遮斷製造危險狀態動作部分的回路，確實迴避危險，這仰賴產品的信賴性。IDEC向為設計更安全裝置的半導體製造設備商推薦第三代安全結構的EMO按鈕開關「XW系列」。 本XW系列搭載「安全能量構造」和「安全斷開動作」的二種安全結構。即使因過度的外力或衝擊使開關破損，或因安裝不充分使得接點部與操作部分離，B接點(NC接點)都能呈現機械性開路(接點OFF)，進而遮斷產生危險狀態動作位置的回路。

因此，即使EMO按鈕開關發生動作不良也能確實進行緊急遮斷，所以可以確實預防工廠損失的擴大。 而且，XW系列的EMO按鈕開關還具備種類豐富的開關保護罩以及EMO標示用的標籤；也有豐富的配件可用於預防日常操作時的非意圖性動作。