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裝置的小型化 | 台灣

世界最薄等級的門用安全開關,有助於半導體裝置的小型化

為了將無塵室內的裝置更小型化

無法簡單擴建的無塵室,為了有效活用有限的空間,追求設備裝置的小型化。但是,即使裝置可以小型化,所使用的各種配件的尺寸卻成了瓶頸,很多情況就是因為這個原因而無法實現更小型化。 例如,考慮安全性而選擇符合SEMI標準的配件,卻無論如何都找不到合適尺寸的小型配件,因而產生不必要空間的浪費。 對於半導體製造設備的製造商而言,應該有很多需要更小型配件的需求吧。

世界最薄等級的門用鎖定開關,使設計的自由度更高



以下假設一個更具體的案例…

長時間持續運轉的半導體製造設備,四周設置了為確保加工狀況以及保養維護用的門,為確保開閉時的安全性,門的內側必需安裝互鎖型開關。 若該門的互鎖型開關能夠小型化,裝置內空間就必然能變大,更能容易設計更小型的裝置。 也許有不少人因沒有小型化的互鎖型開關,因而放棄設計將設備的門小型化。

針對有上述設計課題的顧客,IDEC推薦世界最薄等級的門用安全開關「HS6E型」與「HS6B型」。 此兩種安全開關均可3方向安裝,因此可自由搭配設計安裝;而且可從5種促動器中選擇最適合的,可應對滑動門以及單開門等各種門。而且符合SEMI標準,安全性能可得到充分保證。




2種的門用安全開關可根據需求選擇

關於組裝到裝置的小型安全開關,IDEC準備了鎖定型的電磁式安全開關HS6E型、非鎖定型的安全開關HS6B型,顧客可根據風險評估選擇。 而且,隨時對應日趨嚴苛的ISO以及SEMI等安全標準,身為安全與開關的專家,IDEC可提供確保安全的諮詢與提案。若您有任何需求,歡迎與我們聯絡。