將因更換照明引發的停機時間約減為五分之一 | 台灣

每年都引發停機時間的原因是螢光燈的短使用壽命

半導體的材料使用矽晶片。在厚度僅數mm以內的晶圓上塗上光敏劑，透過光源照射而將轉錄電路圖（曝光處理）。

因此，為了在曝光處理之間不出現曝光現象，半導體製造工程的照明常年使用長波長、對光敏劑無影響的黃色螢光燈。但是，螢光燈的使用壽命很短大約僅一年，所以每年都需要更換。於是，半導體製造工廠為了更換螢光燈不得不停止裝置。而且，因為螢光燈還有微量的汞，將來可能無法繼續使用螢光燈。

因2013年10月召開了「水俁限汞公約」外交會議，該公約對於汞的挖掘、使用甚至到處置都進行了規範，有92個國家在該公約上簽名。若該公約一旦生效，則預計全世界的螢光燈產量將減少，並且將無法穩定使用。

IDEC的長壽命照明將更換的頻率降低到大約1/5

不論從需要每年更換一次，還是從將來可能無法使用方面考慮，維持習慣繼續使用螢光燈實在不是明智的選擇。

我們IDEC向半導體裝置廠商提案，可在半導體裝置使用，並且可使用約5年的LED照明「LF1B-N型照明單元」。

該產品具備不會引起矽晶圓曝光的黃色照明機型，而且能滿足半導體規範SEMI S8所規定的150mm處直下照明為300Lx以上的照度。且因可以調光，所以任何尺寸的半導體製造裝置均可使用。

LF1B-N型照度分布圖(at 0.5m參考值)